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Prof. Dr. Heiner Ryssel Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB) Schottkystraße 10 91058 Erlangen Arbeitsgebiet: CMOS-Technologie,…
Dr.-Ing. Martin Richter
Dr.-Ing. Martin Richter Fraunhofer-Institut für mikroelektronische Schaltungen und Systeme Hansastr. 27 d 80686 Muünchen Arbeitsgebiet: Entwicklung Mikromechanik, Aktorik und Fluidik