FORMIKROSYS
FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK
Prof. Dr. Heiner Ryssel
Kontakt
| E-Mail: | heiner.ryssel@iisb.fraunhofer.de |
| Telefon: | 09131-761100 |
| Fax: | 09131-761102 |
Fraunhofer-Institut für Integrierte Systeme und Bauelementetechnologie (IISB)
Schottkystraße 10
91058 Erlangen
Arbeitsgebiet: CMOS-Technologie, Halbleiterfertigungsgeräte, Ionenimplantation, elektronische Bauelemente,