FORMIKROSYS
FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK
![FORMIKROSYS](/fileadmin/user_upload/forschungsverbuende/formikrosys/BayFOR-formikrosys-logo.jpg)
TP 3 Entwicklung eines Meßverfahrens mit hohem Dynamikbereich für die Qualitätsüberprüfung von optischen Asphären und für die in-situ Messung von Wellenfronten
Arbeitsfeld:
MikrosystemtechnikDas Teilprojekt Entwicklung eines Meßverfahrens mit hohem Dynamikbereich für die Qualitätsüberprüfung vonoptischen Asphären und für die in-situ Messung von Wellenfronten (Kurzbezeichnung: Wellensensor), dessenProjektleitung bei Prof. Schwider, Lehrstuhl für Optik, Universität Erlangen-Nürnberg liegt, soll die Leistungsgrenzeneines Meßgeräts zur Vermessung von optischen Asphären und allgemeinen Wellenfronten auf der Basis einesShack-Hartmann-Sensors erforschen und, soweit möglich, erweitern. Insbesondere sollen die Leistungsgrenzenhinsichtlich Dynamikbereich, Genauigkeit und Geschwindigkeit untersucht werden. Der Sensor selbst besteht dabeiaus einem Mikrolinsen-Array, einer CCD-Kamera mit Bildspeicher und einem Auswerterechner und stellt damit eineinteressante Anwendung der Mikrosystemtechnik zur Vermessung makroskopischer Objekte dar.
![FORMIKROSYS Wellensensor FORMIKROSYS Wellensensor](fileadmin/_processed_/csm_BayFOR-formikrosys-entwicklung-eines-messverfahrens-mit-hohem-dynamikbereich_6830345eb3.jpg)