FOROB
BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR OBERFLäCHEN-, SCHICHT- UND TROCKNUNGSTECHNIK
II. Funktionsschichten
In diesem Bereich stehen z.B. die thermischen, dieelektrischen oder lumineszierenden Eigenschaften von Oberflächenbeschichtungen im Vordergrund. Bei erfolgreich verlaufender Entwicklung kann die Integrationsdichte in der Mikroelektronik weiter erhöht werden, weil Kondensatoren kleiner gebaut oder weil Wärmeströme besser diagnostiziert und abgeleitet werden können. Völlig neu ist die angestrebte Abscheidung von Diamant auf Wolfram-Kupfer-Legierungen oder von Barium-Strontium-Titanat auf Silizium.
Projekte
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II.6 Erarbeitung eines Hochbarriereverbundes für flexible Verpackungen
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II.2 Chemical vapour deposition of thin films with high relative permittivity instanced by barium-strontium-titanate
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II.5 Doped layer systems: optical sensoring of electrical field strength and temperature
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II.6 Development of a high barrier composite for flexible packagings
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II.1 Bildplatten für die hochauflösende digitale Röntgendiagnostik
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II.2 Chemische Dampfphasenabscheidung von Schichten hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
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II.3 Optimierung von Reaktor- und Prozeßdesign bei der CVD durch numerische Simulation zur Verbesserung der Schichtdickenhomogenität
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II.4 Geglättete Diamantschichten als Wärmespreizer und Tribopartner
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II.5 Dotierte Schichtsysteme: Optische Sensorik der elektrischen Feldstärke und der Temperatur
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