FOROB

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR OBERFLäCHEN-, SCHICHT- UND TROCKNUNGSTECHNIK

II.3 Optimierung von Reaktor- und Prozeßdesign bei der CVD durch numerische Simulation zur Verbesserung der Schichtdickenhomogenität

Arbeitsfeld:

Das vorliegende Forschungsprojekt ist ein Verbundvorhaben, in dem in Zusammenarbeit mit der Industrie ein numerisches Modell und Simulationssoftware zur Verbesserung der Schichtdickenhomogenitäten bei der CVD von Halbleitermaterialien auf großen Substraten erarbeitet werden sollen. Die verwendeten mathematischen Modelle werden an Hand von vorhandenen Reaktoren verifiziert. Aufgrund der dabei gewonnenen Erfahrungen wird ein Konzept für einen optimalen Reaktortyp entworfen und dessen Eigenschaften numerisch geprüft. Für die Praxis wird davon eine Verbesserung der Wachstumsprozesse erwartet. Für die industrielle Anwendung ist die Kostenreduktion wichtig, die sich bei einem Umstieg von Silizium-Wafern mit einem Durchmesser von 200 mm auf 300 mm ergibt.