FOROB II

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR OBERFLäCHENTECHNIK

FOROB 2

II. Funktionsschichten

In diesem Bereich stehen z.B. die thermischen, dieelektrischen oder lumineszierenden Eigenschaften von Oberflächenbeschichtungen im Vordergrund. Bei erfolgreich verlaufender Entwicklung kann die Integrationsdichte in der Mikroelektronik weiter erhöht werden, weil Kondensatoren kleiner gebaut oder weil Wärmeströme besser diagnostiziert und abgeleitet werden können. Völlig neu ist die angestrebte Abscheidung von Diamant auf Wolfram-Kupfer-Legierungen oder von Barium-Strontium-Titanat auf Silizium.

Projekte

  • II.6 Erarbeitung eines Hochbarriereverbundes für flexible Verpackungen
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  • II.2 Chemical vapour deposition of thin films with high relative permittivity instanced by barium-strontium-titanate
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  • II.5 Doped layer systems: optical sensoring of electrical field strength and temperature
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  • II.6 Development of a high barrier composite for flexible packagings
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  • II.1 Bildplatten für die hochauflösende digitale Röntgendiagnostik
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  • II.2 Chemische Dampfphasenabscheidung von Schichten hoher Dielektrizitätskonstanten am Beispiel Barium-Strontium-Titanat
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  • II.3 Optimierung von Reaktor- und Prozeßdesign bei der CVD durch numerische Simulation zur Verbesserung der Schichtdickenhomogenität
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  • II.4 Geglättete Diamantschichten als Wärmespreizer und Tribopartner
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  • II.5 Dotierte Schichtsysteme: Optische Sensorik der elektrischen Feldstärke und der Temperatur
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Informationen

Gründungsdatum

04.1998

Ende

03.2001

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung

Gefördert durch

Bavarian Research Foundation