FORPHOTON

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR DIE ENTWICKLUNG UND FERTIGUNG PHOTONISCHER MICROSYSTEME

B4: Entwicklung und Fertigung optomechatronischer hybrider Mikrosysteme

Arbeitsfeld:

Im Vordergrund stehen innovative Herstellungsverfahren zur Produktion optomechatronischer Komponenten. Einen Schwerpunkt soll das Mikro-Cavity-Molding darstellen, mit dem photonische Strukturen direkt auf Träger aufgebracht werden können. Unter Berücksichtigung der betrachteten Herstellungsverfahren werden zudem geeignete 3D-Montageprozesse und aktive Inline-Justage Verfahren entwickelt. Auf Grundlage dieser Arbeiten werden Verfahren zur Simulation der Herstellungs- und Montageprozesse untersucht und ggf. miteinander verknüpft. Die anschließend zu erarbeitenden Anforderungen und Rahmenbedingungen an die Produktion optomechatronischer Komponenten und Systeme bilden die Grundlage für Entwicklungsrichtlinien, die eine fertigungs- und montagegerechte Auslegung optomechatronischer Mikrosysteme beschreiben. Die erarbeiteten Verfahren sollen anhand von zwei Demonstratoren, ein Mikro-LED-Package zur wirtschaftlichen Herstellung hochpräzise LED´s und ein dynamischer, flexibel einsetzbarer und programmierbarer µ-Positionreflektor zur Umlenkung von Messlasern eines Laser-Vibrometers, validiert werden. Insbesondere die Definitionsphase und auch die Validierungsphase wird von den Industriepartnern eng verfolgt.