FOROB

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR OBERFLäCHEN-, SCHICHT- UND TROCKNUNGSTECHNIK

III.2 Lasergestützte diamantartige Schichten für mechanische Anwendungen

Arbeitsfeld:

- Herstellung, Optimierung und Charakterisierung von diamantartigen Schichten (DLC) im 2D- und 3D-Bereich
- Entwicklung eines 3D-Laserbearbeitungskopfes zur Reinigung und Beschichtung von Bauteilen
- Lasergestützte Bearbeitung von Bauteiloberflächen
- Standzeittests beschichteter Bauteile und Werkzeuge
Wesentliche Ergebnisse:

- Abscheidung von DLC-Schichten bei Raumtemperatur mit geringer Rauheit
- Beschichtung von 2D-Teilen bis zu einem Durchmesser von 20 mm
- Substrate: Si, Fe
Spezifische Vorteile des LPVD-Verfahrens
- Wachstumsraten 0,16 nm pro Puls
- Schichtdicken bis 3 µm
- Multilayer-Schichten möglich
- definierte partielle Beschichtung