FORMIKROPROD

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR MIKROPRODUKTIONSTECHNIK

A3 Schnelle Laserstrahljustiertechnik

Arbeitsfeld:

Bei der Fertigung hybrider Mikrosysteme kann alternativ zur präzisen Fertigung der Einzelteile und der anschließenden ebenso präzisen Montage zunächst relativ grob toleriert gefertigt, montiert und in einem anschließenden Schritt justiert werden. Für die hochgenaue Justage bietet sich insbesondere das berührungslose Laserstrahljustieren an, das in den vergangenen Jahren in der Industrie zunehmend an Bedeutung gewonnen hat. Allerdings stellen die - aufgrund der thermischen Trägheit der bestrahlten Aktoren (Justierelemente) - derzeit noch relativ großen Justierzeiten ein Problem dar. Abhilfe soll hier das kalte Laserstrahljustieren bringen, das auf dem laserinduzierten Abtragen von Schichten basiert. Ein solches Verfahren ist inzwischen vom BLZ zum Patent angemeldet worden. Ziele des Projektes sind die Vereinfachung der Montage hybrider Mikrosysteme, sowie die Verbesserung der Funktionseigenschaften von Funktionselementen wie Linsen oder elektrischen Kontakten, z.B. durch mechanisches Justieren der Lage oder durch Änderung der mechanischen Eigenschaften (z.B. Federsteifigkeit). Das Verfahren liefert einen Beitrag zur Steigerung der Flexibilität der Montage sowie des gesamten Herstellprozesses und dient damit der Qualitätssicherung und –steigerung durch Vereinfachung bei gleichzeitig extrem hohen erreichbaren Genauigkeiten. Die schnelle Laserjustage ist somit integraler Forschungsschwerpunkt des gesamten Forschungsverbundes.