FORMIKROPROD

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR MIKROPRODUKTIONSTECHNIK

A2 Berührungslose Handhabung von Bauteilen aus der Mikrosystemtechnik

Arbeitsfeld:

Im Rahmen des Projekts sollen Prinzipien zur berührungslosen Handhabung empfindlicher Bauteile aus der Mikrosystemtechnik entwickelt werden. Diese Prinzipien sollen in Greifer umgesetzt und unter produktionsähnlichen Bedingungen erprobt werden. Hierfür sollen zwei Prinzipien verwendet werden: die Luftkissentechnik und der Stehwelleneffekt im Ultraschallfeld. Ziel der Entwicklung ist ein industriell einsetzbares Verfahren zur berührungslosen und damit beschädigungsfreien Handhabung kleiner Bauteile mit empfindlichen Oberflächen. Beim berührungslosen Luftkissengreifer wird das Bauteil durch Unterdruckdüsen angesaugt und damit aufgenommen. Gleichzeitig wird es durch einen Luftfilm aus kleinen Düsen nach dem Luftlagerprinzip auf Abstand gehalten, um einen direkten Kontakt mit dem Greifer zu vermeiden. Ein rudimentäres Funktionsmuster wurde am iwb bereits aufgebaut. Die Stehwellenlevitation mittels Ultraschall ist ein bekanntes Prinzip, das bereits in der Raumfahrt beim sogenannten „containerless processing“ angewendet wird. Materialproben werden dabei in Schallknoten gefangen, um jegliche Kontamination mit Behälterwänden während chemischer Prozesse zu vermeiden. Dieses Verfahren wird bisher nicht weiter industriell eingesetzt, eignet sich aber hervorragend, kleine Bauteile berührungslos und ohne Partikelerzeugung zu transportieren. Die mit diesen Prinzipien entwickelten Greifköpfe sollen als Module für die berührungslose Handhabung in der Mikromontage entwickelt werden. Dies gewährleistet eine flexible Einbindung in Handhabungsgeräte vom rein manuellen Arbeitsplatz bis hin zu Hochleistungsbestückern.