FORPHOTON
BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR DIE ENTWICKLUNG UND FERTIGUNG PHOTONISCHER MICROSYSTEME
Michael Feil
Kontakt
| E-Mail: | michael.feil@izm-m.fraunhofer.de |
Fraunhofer-Institut für Zuverlässigkeit und Mikrointegration
Institutsteil München, Polytronische Systeme
Hansastraße 27d
80686 München
Projekte
- B: Fertigung photonischer Sensorsysteme