FORNEL
BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND FüR NANOELEKTRONIK
Prof. Dr. Doris Schmitt-Landsiedel
Kontakt
| E-Mail: | dsl@ei.tum.de |
| Telefon: | +49- 89 289-22922 |
| Fax: | +49- 89 289-22938 |
TU München
Lehrstuhl für Technische Elektronik
Theresienstr. 90
80290 München
Arbeitsgebiet:
Produktionstechnologien für die Silizium-Mikroelektronik, Ausfallmechanismen und Zuverlässigkeit von integrierten Schaltungen, Halbleitersensoren in Siliziumtechnologie, Sensorauswerteschaltungen, Mixed-Signal-Schaltungen, Metallisierungssysteme für Sub-0,5µm-CMOS-ICs, Focused Ion Beam - Technik
Projekte
- II Nanobauelemente und –schaltungen