FORMIKROSYS

FORSCHUNGSVERBUND MIKROSYSTEMTECHNIK

FORMIKROSYS

Dipl.-Ing. Hermann Seitz

Kontakt

TU München
Lehrstuhl für Feingerätebau und Mikrotechnik
Boltzmannstr. 15
85747 Garching

Informationen

Gründungsdatum

05.1994

Ende

12.2000

Gefördert durch

Bayerische Forschungsstiftung