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für integrierte Schaltungen - Bereich Bauelementetechnologie
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91058 Erlangen

Projects

IV Informationsschichten
- IV.4 Chemische Dampfphasenabscheidung von dünnen ferroelektrischen Blei-Lanthan-Zirkonat-Titanat-Schichten bei Niederdruck

Information

Launching date

12.1994

End

11.1998