FORGLAS

BAYERISCHER FORSCHUNGSVERBUND GLASMATERIALIEN FüR ENERGIEFFIZIENTE GEBäUDETECHNIK

TP III.3: Spektroskopische In-Situ-Diagnostik bei der Funktionalisierung von Gläsern

Arbeitsfeld:

Dieses als Querschnittsprojekt ausgelegte Teilprojekt soll für die im Rahmen von FORGLAS verwendeten Funktionalisierungsschritte von Glas spektroskopische Methoden zur in-situ-Diagnostik und Überwachung entwickeln und den verbundenen Teilprojekten zur Verfügung stellen.

Im Vordergrund steht vor allem die in-situ-Analyse von Beschichtungsvorgängen mittels chemical vapor deposition (CVD). Dabei sollen die verwendeten Messtechniken in der Lage sein, sowohl die Zusammensetzung der Gasphase in unmittelbarer Nähe zum Substrat zu vermessen, wie auch die wachsende Beschichtung zu charakterisieren. Hierfür bietet sich der Einsatz speziessensitiver Messtechniken an. Bereits bewährt haben sich beispielsweise die spontane Raman-Streuung zur Bestimmung der Gasphasenzusammensetzung und die laserinduzierte Plasmaspektroskopie zur Analyse der Schichtzusammensetzung und Güte. Darüber hinaus sollen in diesem Projekt auch weitere, insbesondere fluoreszenzbasierte, Messverfahren identifiziert und erprobt werden.

Die für die Analyse der Beschichtungsprozesse entwickelten Techniken sollen auch anderen Anwendungsfällen zur Verfügung gestellt werden. So kann die Raman-Spektroskopie neben der Analyse der Gasphase während des CVD-Prozesses auch zur Charakterisierung der Läuterungsgase bei der Glasherstellung im Mini-Melter eingesetzt werden. Plasmaspektroskopische Verfahren bieten wiederum die Möglichkeit, neben der Messung von Schichtzusammensetzungen auch die Zusammensetzung von Glasschmelzen bestimmen zu können.